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AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆&＃xff0c;可以安全高效搬送薄片晶圆&＃xff0c;非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。

适应范围广、搭配灵活

对应多种尺寸组合

我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(对应小于150 mm的晶圆)的3种型号。除此以外&＃xff0c;您还可以根据检查模式&＃xff0c;选用微观检查专用型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。

晶圆尺寸•厚度对应表

薄片检查

对应薄片制造厂家的需求&＃xff0c;AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的薄晶圆。

高度实用性

进一步优化的宏观检查

背面宏观360゜旋转宏观检查手臂可以360゜旋转&＃xff0c;更为容易发现伤痕和微尘。

利用360゜旋转功能&＃xff0c;完全可以目视检查整个晶圆(包括边缘)。此外&＃xff0c;在表面宏观检查中&＃xff0c;使用操纵杆可随意将晶圆最大倾斜30゜进行观察。

操作便捷为了满足各种常规检查的要求&＃xff0c;AL120可以登记多达10个检查程序。使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度。快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序。

晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示。 使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT&＃xff0c;便于操作者再次确认。

AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口&＃xff0f;平面&＃xff0c;可以减少晶圆和设备之间的接触&＃xff0c;提高晶圆的清洁度。

高度可靠性

优先考虑晶圆和操作者的安全为了能够安全的安装晶圆&＃xff0c;采用了在装置正面放置片盒的设计。

在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测&＃xff0c;同时&＃xff0c;在环境保护方面遵守了RoHS指令。

坚固、耐用的显微镜底座

AL120搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列&＃xff0c;通过各种观测方法&＃xff0c;包括&＃xff1a;明视场、暗视场、微分干涉(DIC)、近IR(近红外线)和DUV(深紫外线)&＃xff0c;实现了卓越的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定&＃xff0c;可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制&＃xff0c;AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。

人机工程学设计的载物台手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率&＃xff0c;标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。

可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台&＃xff0c;进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。